潔凈室定義標(biāo)準(zhǔn)
2021.04.26
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有 害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及 照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其 室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好 之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。 世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián) 邦標(biāo)準(zhǔn) 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E 與 209D 等zui大之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如 M1、 M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M 字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺 中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方 之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) FS 209D 都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm 微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以 Class 1，Class 2，Class 3……Class8 表示，zui好的等級為 Class 1， zui差則為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為 10 的冪次方，取其指數(shù)而得。
